工业废气处理设备的起源可以追溯到19世纪末20世纪初的工业革命时期。在这个时期，工业化的快速发展导致了大量工业废气的排放，给环境造成了严重的污染问题。为了解决这一问题，人们开始研发和应用工业废气处理设备。
早的工业废气处理设备之一可以追溯到1850年代的英国。当时，英国的煤矿工业蓬勃发展，大量的煤矿废气排放给矿工们的健康带来了威胁。为了净化煤矿废气，英国的工程师约瑟夫·温斯洛研发了一种名为“温斯洛塔”的设备。温斯洛塔通过将煤矿废气引导到水中，利用水的吸收和过滤作用来净化废气。这种设备的问世标志着人类开始意识到工业废气处理的重要性，并通过技术手段来解决这一问题。
随着工业化的进一步发展，工业废气排放问题变得更加突出。尤其是20世纪中叶以后，随着工业化进程在全球范围内的加速推进，工业废气的种类和污染程度都得到了显著提高。为了减少工业废气的对环境和人类健康的危害，人们开始积极研发和应用新的工业废气处理技术。
20世纪60年代以后，工业废气处理设备的研发进入了一个高潮期。当时，人们开始将空气净化技术与化学工程技术相结合，研发出了一系列高效的工业废气处理设备。例如，除尘器、吸附器、催化转化器等设备相继问世，并广泛应用于各个工业领域。
随着工业废气处理技术的不断创新和完善，工业废气处理设备也逐渐形成了现代化、自动化的形态。现代工业废气处理设备通常采用多种技术的组合，包括物理方法、化学方法和生物方法等。物理方法主要是通过过滤、吸附、冷凝等技术将废气中的污染物去除；化学方法则是利用化学反应将废气中的有害物质转化为无害物质；生物方法主要是利用微生物的代谢作用将废气中的有机污染物降解。
工业废气处理设备在净化废气的同时，还能够回收和利用一部分有价值的物质和能量。例如，通过烟气热能回收技术可以将废气中的热能转化为电力或热水，从而提高能源利用效率。另外，一些废气处理设备还可以回收废气中的有机物质、金属等资源，并进行再利用。
总的来说，工业废气处理设备的起源可以追溯到19世纪末20世纪初的工业革命时期，随着工业化的快速发展而产生。经过几十年的技术创新和发展，工业废气处理设备已经进入了现代化、自动化阶段，并成为解决工业废气污染问题的重要手段。
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